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| 應用領域 | 化工,能源,電子,冶金,電氣 |
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上海睿丹自動化儀表有限公司代理的進口PPb級半導體水分儀超高精度高純氣體微量水分儀為您提供：※ 絕對測量法（免校驗氣體）※ 超寬的動態范圍，超過4個數量級※ 簡潔技術※ 結構緊湊igeroptics HALO KA 超高精度高純氣體微量水分儀/水分測定儀/露點儀，為用戶提供了超高精度的，可靠的，快速響應和易于操作的測量手段。CRDS光腔震蕩衰減光譜技術用于微量氣體定量分析，物質種別特征直接測量技術，排除其他物質的干擾，絕對精確的、可靠的測量完備性一致性以及測量重復性。超長光程，實際光程可以增加到樣品池實際長度的十萬倍以上不受激光強度，噪聲或樣品池外部吸收及環境等因素的影響光譜測量技術，無任何消耗性部件或材料超高靈敏度，超高精度絕對測量，無需標定。PPb級半導體水分儀
| 操作范圍 | 請參閱右側性能指標 |
| 測量極限 | 請參閱右側性能指標 |
| 靈敏度（σ） | ±0.75% or 1/3 of LDL |
| 精度（取大值） | ±4% or LDL |
| 響應速度 | ＜2分鐘 to 95% |
| 環境要求 | 10℃-40℃ , 30℃-80% RH（non-cond） |
| 儲存溫度 | -10℃--50℃ |
| 內部管路材料 | 316L不銹鋼（選配：哈氏合金Hastelloy）10Ra表面光潔度 |
| 氣體接口 | 1/4“ male VCR入口和出口 |
| 泄露測試 | 1×10-9 mbar 1/sec |
| 入口氣體壓力 | 10-125psig(1.7-9.6bar) |
| 流量 | 0.05--1.8slpm |
| 樣品氣體 | 惰性氣體、有毒氣體、活潑或腐蝕性氣體 |
| 氣體溫度 | 小于60℃ |
| 尺寸 | 高×寬×深（英寸mm） |
| 傳感器標準尺寸 | 8.73"×8.57"×23.6"（222mm×218mm×599mm） |
| 外殼尺寸 | 8.73×19×23.6（222mm×483mm×599mm） |
| 儀器重量 | 28 Ibs (12.7kg) |
| 報警指示 | 2個程序設定點，1個系統失效報警繼電器 |
| 電源要求 | 90-240VAC，50/60HZ |
| 電源功率 | 最大40Watts |
| 信號輸出 | 隔離4-20mA輸出 |
| 操作界面 | 5.7“LCD/觸控屏 |
| 網絡 | 10/100BaseT 以太網口，802.11g Wireless(選配)，RS-232，RS-485 |
| 性能指標 | 量程 | 測量下限 | 靈敏度 |
| 氮氣 | 0-20ppm | 300ppt | 100ppt |
| 氦氣 | 0-4ppm | 100ppt | 20ppt |
| 氬氣 | 0-9ppm | 130ppt | 45ppt |
| 氫氣 | 0-16ppm | 200ppt | 70ppt |
| 氧氣 | 0-10ppm | 150ppt | 50ppt |
| 壓縮空氣 | 0-18ppm | 300ppt | 100ppt |
| 氘氣 | 0-14ppm | 900ppt | 300ppt |
| 一氧化碳 | 0-24ppm | 600ppt | 200ppt |
| 二氧化碳 | 0-25ppm | 800ppt | 300ppt |
| 1% GeH4/99% H2 | 0-16ppm | 7ppb | 2.5ppb |
| 10% GeH4/90% H2 | 0-16ppm | 35ppb | 12ppb |
| 硫化羰 | 0-23ppm | 4ppb | 1.4ppb |
| 氖氣 | 0-5ppm | 100ppt | 30ppt |
| 氪氣 | 0-11ppm | 160ppt | 60ppt |
| 氙氣 | 0-13ppm | 250ppt | 90ppt |
| 氯 氣 | 0-25ppm | 650ppt | 220ppt |
| 氯化氫 | 0-50ppm | 1200ppt | 400ppt |
| 溴化氫 | 0-50ppm | 12ppb | 4ppb |
| 六氟化硫 | 0-15ppm | 400ppt | 140ppt |
| 三氟化氮 | 0-20ppm | 600ppt | 200ppt |
| 四氟化碳 | 0-15ppm | 800ppt | 300ppt |
| 六氟乙烷 | 0-15ppm | 1200ppt | 400ppt |
| 全氟丙烷 | 0-20ppm | 1200ppt | 400ppt |
| 六氟丁二烯 | 0-25ppm | 150ppb | 50ppb |
| 八氟環丁烷 | 0-20ppm | 1200ppt | 400ppt |
| 八氟環戊烯 | 0-32ppm | 8ppb | 3ppb |
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