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PSA制氧系統主要由空氣壓縮機、過濾器、空氣冷干機、空氣緩沖罐、活性炭過濾器、制氧主機、氧氣儲罐、滅菌過濾器、氧氣增壓機、灌裝閥組等組成。原料空氣經吸入口過濾器除掉灰塵顆粒后，被空氣壓縮機增壓至0.5Mpa，首先由過濾器除空壓機剛開機時壓縮空氣夾帶的少量油份，再經空氣冷干機冷凝出水，吸干機、活性炭過濾器而進入制氧主機的一只吸附器內。吸附器內裝填吸附劑，其中水分、二氧化碳及少量其他氣體組分在吸附器入口處被裝填于底部的活性氧化鋁所吸附，隨后氮氣被裝填于活性氧化鋁上部的分子篩所吸附。而氧氣為非吸附組分從吸附器頂部出口出作為產品氣排至氧氣平衡罐，經氧氣壓縮機增至所需的用氧壓力，送入至后續用氧工段使用。