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| 應用領域 | 環保,食品,農業,文體,能源 |
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OPD101
OPDLFPKG
在線質量控制檢查確保正確裝配零件
無需軟體的快速設定
不受顏色影響，且對外部光照不敏感，應用非常廣泛
由軟體支持的故障分析，帶有輪廓可視化功能和測量值
多達10個可選的輪廓， 可實現更高的靈活性
產品簡介
詳細介紹
IFM輪廓感應器技術簡介：
米級表面輪廓傳感器
在半導體工業領域試制和生產基片或元器件的過程中，需要檢測與控制它們的膜厚、表面輪廓和表面質量。利用表面輪廓測量儀，進行接觸式測量是一種行之有效的方法。在大規模集成電路廣泛應用的今天，研究開發高分辨力的表面輪廓傳感器具有現實意義。
為了分辨出納米級的微小位移和凹凸不平的表面輪廓，對傳感器的靈敏度與重復性、測量電路的抗干擾能力以及測量力和觸針曲率半徑等均提出很高的要求。
IFM感應器工作原理：
傳感器的工作原理如右圖所示。傳感器鐵心位于線圈中間位置時，由線圈與激磁振蕩器輸出變壓器副邊組成的測量電橋其輸出電壓為零。當觸針在試件表面上掃描時，若表面上凸，觸針帶動鐵芯上移，上線圈電感量增加，下線圈電感量減小，電橋失去平衡，輸出與觸針位移成正比的信號電壓;若表面下凹，則輸出信號反相。該信號電壓經前置放大后，通過同步積分器進行濾波，再經解調器將信號解調出來，獲得電壓幅值與觸針位移成正比、極性與移動方向相對應的直流電壓，再經直流放大后輸至記錄儀(圖中未表示)進行記錄。
折疊編輯本段一種新型傳感器在表面輪廓測量中的應用
目前在生產和科學研究中，對于各種工程表面輪廓大多采用金剛石觸針測量。這種測量方法可靠性強，環境要求不高、價格低廉。但也存在以下缺點:會劃傷工件表面，觸針不可避免會磨損，影響測量結果。軟金屬精密表面、含信息的表面以及某些不允許刻劃的表面等一般不宜采用觸針輪廓儀進行測量。
為克服接觸式測量的缺點，采用非接觸測量方式的光針掃描輪廓儀得到了迅速發展。對于工程表面形貌的測量，聚焦式光針掃描輪廓儀是較理想的測量儀器，目前已在工業生產中得到了應用。然而這種輪廓儀由于受材料光學性能、工件安裝、傾斜程度及環境因素的影響較大，使用也受到限制。
由此可見，在生產中最好同時具備上述2種儀器，以滿足對工程表面測量的需要。目前金剛石觸針輪廓儀技術成熟，價格適中，在生產中應用廣泛;光針掃描輪廓儀已有產品面市，但價格不菲，性能尚待完善，是表面測量領域重點研究開發的對象。因此，研究開發量程較大、價格較低，同時具有接觸式與非接觸式兩種測量方式的傳感器或儀器具有重要意義。
IFM輪廓感應器選購型號如下：
| 產品 | 產品標識 | 發射器/接收器 | 檢測距離 | 菱鏡反射鏡的檢測距離 | 測量范圍 | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| OPD101 | 輪廓感應器 | |||||
| OPD100 | 輪廓感應器 | |||||
| OGD580 | 雷射測距感應器 | 0.025...1.5 m | ||||
| OGD592 | 雷射測距感應器 | 0.025...0.3 m | ||||
| O5D100 | 雷射測距感應器 | 0.03...2 m | ||||
| OGH500 | 漫反射感應器 | 15...300 mm | ||||
| OGP500 | 鏡片反射式感應器 | 0.03...5 | ||||
| O5H500 | 漫反射感應器 | 50...1800 mm | ||||
| O1D100 | 雷射測距感應器 | 0.2...10 m | ||||
| O6H301 | 漫反射感應器 | 2...200 mm | ||||
| O5P500 | 鏡片反射式感應器 | 0.075...10 | ||||
| OGT500 | 漫反射感應器 | 2...800 mm | ||||
| OF5027 | 漫反射感應器 | 1...400 mm | ||||
| OJ5136 | 鏡片反射式感應器 | 8 | ||||
| OJ5148 | 漫反射感應器 | 15...400 mm | ||||
| OGH200 | 漫反射感應器 | 15...250 mm | ||||
| OGH580 | 漫反射感應器 | 15...200 mm | ||||
| O5H200 | 漫反射感應器 | 50...1400 mm | ||||
| OF5012 | 漫反射感應器 | 1...200 mm | ||||
| OGP281 | 鏡片反射式感應器 | 0.1...4 | ||||
| OGT100 | 漫反射感應器 | 10...400 mm | ||||
| OGP200 | 鏡片反射式感應器 | 0.03...4 | ||||
| OGS380 | 對照式感應器 | 15 m | ||||
| OGP101 | 鏡片反射式感應器 | 0.05...2.5 | ||||
| O1D105 | 雷射測距感應器 | 0.2...10 m | ||||
| O6P301 | 鏡片反射式感應器 | 0.05...5 | ||||
| OGE380 | 對照式感應器 | 接收裝置 | 15 m | |||
| OJ5126 | 鏡片反射式感應器 | 0...2 | ||||
| OGH381 | 漫反射感應器 | < 200 mm | ||||
| OGH380 | 漫反射感應器 | < 100 mm | ||||
| OGE381 | 對照式感應器 | 接收裝置 | < 15 m | |||
| O6H204 | 漫反射感應器 | 2...200 mm | ||||
| OGP700 | 鏡片反射式感應器 | 0.2...15 | ||||
| O6H202 | 漫反射感應器 | 2...200 mm | ||||
| OGP100 | 鏡片反射式感應器 | 0.05...2.5 | ||||
| OGH700 | 漫反射感應器 | 20...200 mm | ||||
| OGH280 | 漫反射感應器 | < 100 mm | ||||
| O1D300 | 光電液位感應器 | 0.2...10 m | ||||
| OGE280 | 對照式感應器 | 接收裝置 | 20 m | |||
| O6P201 | 鏡片反射式感應器 | 0.05...5 | ||||
| OBF500 | 光纖放大器 | 0...2 m | ||||
| OGH281 | 漫反射感應器 | < 200 mm | ||||
| O5D159 | 雷射測距感應器 | 0.03...2 m | ||||
| O5D150 | 雷射測距感應器 | 0.03...2 m | ||||
| OGE281 | 對照式感應器 | 接收裝置 | 20 m | |||
| OGT300 | 漫反射感應器 | 2...800 mm | ||||
| O1D155 | 雷射測距感應器 | 0.3...6 m | ||||
| OGT200 | 漫反射感應器 | 2...600 mm | ||||
| O6H200 | 漫反射感應器 | 2...200 mm | ||||
| OGH581 | 漫反射感應器 | 15...200 mm |
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