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測(cè)量范圍

Z軸（縱向）

50mm

X軸（橫向）

100mm(-22系統(tǒng)為200mm)

精度

Z軸指示精度

±(0.8+4H/100)um H:測(cè)量高度（mm）

測(cè)量分辨率

0.025um

X軸指示精度

±(1+2L/100)um L;測(cè)量高度（mm）

測(cè)量分辨率

0.1um

直線度精度

1um/100mm

測(cè)量方式

Z軸

激光反光分析光尺

X軸

摩爾干涉光尺

記錄

縱倍率

0.01-10,000.000倍（可以為任意、自動(dòng)）

橫倍率

0.01-10,000.000倍（可以為任意、自動(dòng)）

速度

立柱上下移動(dòng)速度（Z軸）

3mm/s

測(cè)量速度（X軸）

0.03、0.06、0.15、0.3、0.6、1.5、3、6mm/s

小測(cè)量間距

0.1um

大測(cè)量點(diǎn)數(shù)

100.000點(diǎn)（大10形狀）

測(cè)針半徑

0．025mmR

測(cè)量力

30mN以下

測(cè)量進(jìn)給方向

拉·推·兩方向

測(cè)量姿勢(shì)

上·下、兩方向

計(jì)算處理功能

點(diǎn)、直線、圓、部分圓、橢圓、大點(diǎn)·小點(diǎn)、距離、坐標(biāo)差、極坐標(biāo)差、直交/極坐標(biāo)差顯示、交叉要素（點(diǎn)-直線、直線-直線、圓-直線、圓-圓、直線-橢圓）、對(duì)稱要素（點(diǎn)-點(diǎn)、點(diǎn)-圓、點(diǎn)-橢圓、直線-直線、圓-圓、圓-橢圓、橢圓-橢圓）、坐標(biāo)控制（原點(diǎn)設(shè)定、X軸設(shè)定、平行移動(dòng)、回轉(zhuǎn)移動(dòng)）、面積計(jì)算Overpin計(jì)算、尺寸線顯示功能、計(jì)算結(jié)果與設(shè)計(jì)值比對(duì)、鏡面反轉(zhuǎn)、形狀合成功能、宏功能、自動(dòng)要素判定、計(jì)算點(diǎn)的重復(fù)功能、工件軌跡功能、峰值谷值搜尋功能、自動(dòng)操作記錄·回放功能、形狀、設(shè)計(jì)值比對(duì)、好擬合功能、設(shè)計(jì)值生成、IGES/DXF轉(zhuǎn)換功能

各要素

電源

單相AC100V±10% 50/60Hz

耗電量

380VA

設(shè)置尺寸

1850（W）*800（D）*750（H）mm

質(zhì)量

150kg