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產品簡介
詳細介紹
| 特點 | 與普通CVD相比可以在低溫環境下進行氣相沉積實驗可以通過爐體滑動達到快速升溫和降溫 對于薄膜的應力可以通過射頻電源的頻率來進行控制通過工藝調節來控制化學計量 可以沉積各種材料，如SiOx.SiNx.SiOxNy和（a-SiH） 等 |
| 開啟式管式爐 | 輸入電源∶208-240V AC，功率;1.2kW 工作溫度頂值1200℃，小于60分鐘 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長儀器的使用壽命（點擊文字了解涂層的詳細參數） 連續工作溫度1100°C 爐管采用高純石英管∶50mmOD x 44mmID x 1000mm L 可設置30段升降溫程序，并且帶有過熱和斷偶保護功能 加熱區長度∶200mm 單溫區 恒溫區2.3"（60mm）（+-15℃）@ 1000℃ 注∶ 由于測量手段及外部環境的影響，測里結果可能會有偏差，此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區數據，請與我公司銷售人員 |
| 等離子體射頻電源 | 輸出功率：5 .300W 可調 穩定性±1% 射頻電源頻率∶ 13.56 MHz 穩定性±0.005% 反向功率頂值∶ 200W 匹配∶ 自動 射頻電源電子輸出端口∶ 50 Ω，N型半導體，陰極 噪音∶ <50 dB. 冷卻∶風冷 電源∶208-240VAC，50/60HZ |
| 真空法蘭和接頭 | 真空法蘭采用 304不銹鋼制作. 左端法蘭上安裝有 KF-25真空接口，2個KF-25快速卸裝卡箍，KF-25直角閥，KF-25真空波紋管和 1/4軟管接頭和不銹鋼針閥 |
| 真空泵及水冷機 | AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W 2Liter /S 出氣端安裝有油霧過濾器（防止油霧擴散到空氣中，保護環境和人體健康） 真空度∶ 10-2 torr 可選水冷機 |
| 產品尺寸和重量 | 外形尺寸 1500mm x 600mm x 1200mm （長x寬x高） 凈重∶160kg |
| 質保期 | 年質保期，終身維護（相關耗材除外，如爐管，密封圈等易耗件） |
| 質量認證 | CE Certified |
| 使用注意事項： | 工作時需連接水冷設備 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 由干氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa，使用時會更加準確安全 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態 進入爐管的氣體流量需小于200sCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊石英管的長時間使用溫度< 1100℃ 對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐管破裂，法蘭飛出等） |