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1100°C雙管滑動快速加熱冷卻爐

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具體成交價以合同協議為準
  • 型號 OTF-1200X-4-80-100-4CLV-S
  • 品牌 合肥科晶
  • 廠商性質 經銷商
  • 所在地 南京市
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更新時間:2021-05-11 15:50:15瀏覽次數:359

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產品簡介

產地類別 國產 應用領域 醫療衛生,環保,化工,生物產業,石油
產品概述∶?OTF-1200X-4-80-100-4CLV-SL雙管爐是一個特殊的雙管CVD系統是專門為在金屬箔上生長薄膜而設計,特別是在新—代能源研究中,應用于柔性金屬箔電極方面的研究。本設備可通過滑動爐子實現快速加熱和冷卻,同時根據用戶的需求提供單溫區或雙溫區兩種配置的爐膛。

詳細介紹

產品名稱1100°C雙管滑動快速加熱冷卻爐
主要特點

雙石英管∶外管直徑100mn,懸掛的內管直徑80mm,金屬箔纏繞在內管的外表面上發生cvD反應。(見下圖)

兩根爐管上安裝有真空密封法蘭,允許反應氣體在兩個管(10mm間距)之間流動,情性氣體在管內流動以進行冷卻。

· 搭載由多通道流量控制系統和真空泵共同組成的CVD系統。

爐子的底部安裝有一對滑軌,可使爐子從爐管的一側滑動到另一側,以實現快速加熱和快速冷卻。

·包含一個止滑夾,用于固定爐子的位置。

·最高溫度可達1100℃。

雙層殼體結構,并帶有風冷系統,可有效降低殼體表面溫度。

· 內爐膛表面涂有姜國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。

開門斷電,提高實驗安全性。

基本參數

最高溫度∶ 1100℃(≤30min) 工作溫度∶ 1000℃

推薦升溫速率∶≤10℃/min

加熱元件∶摻參鉬鐵鉻鋁合金

·電壓∶220

可根據需求選擇單溫區或雙溫區兩種爐膛。(雙溫區見下圖)

加熱爐額定功率∶3KW(不包括CVD系統)

加熱區∶400mm (單溫區),200mm*2(雙溫區)

爐管及滑軌

高純石英管80mm外徑x 1800mm長

高純石英管100mm外徑x 1400mm長

鍍鉻鋼制成的雙滑軌

真空法蘭

不銹鋼真空法蘭安裝在爐管的兩端,便于組裝

多通道質子流量計控制系統

適用于低壓小流量,多種氣體單一/混合連續供氣系統。尤其方便多種氣體的切換使用,而不會造成大氣進入加熱管。

氣體壓力和流量數據在同一平面直觀可讀,外形美觀、實用,操作簡便。

采用觸摸屏來控制氣體的流量,顯示流量準確,方便操作。

所有儀表及閥門的連接均采用活接頭連接,便于維修拆卸。

多通道質子流量計系統參數∶

輸入電壓∶ AC 2207/5OHz單相

功率∶23w

產品二通道三通道四通道五通道
工作溫度5-45℃5-45℃5-45℃5-45℃
最大壓力3*10~6 Pa3*10~6 Pa3*10~6 Pa3*10~6 Pa
精度±1.5% FS±1.5% FS±1.5% FS±1.5% FS
重復精度±0.2%FS±0.2%FS±0.2%FS±0.2%FS
流量范圍

一路:

1-199 scm

二路:

1-199 scm

一路:

0-100 scm

二路:

1-199 scm

三路:

1-499SCCM

一路:

0-100 scm

二路:

1-199 scm

三路:

1-199SCCM

四路:

1-499sccm

一路:

0-100 scm

二路:

1-199 scm

三路:

1-199SCCM

四路:

1-499sccm

注意其他流量范圍的可定制(0~100、1~200、1-500、1-1000、1-2000、1-5000sccm),需額外費用五一九路可按照客戶要求定制

真空系統

此設備可根據需求配置合適的真空泵組

·GZK-101低真空機組∶

·工作電電壓∶220v,50~60HZ

· 功率∶ 1KW

·系統極限真空度∶1.0*10-1Pa

·抽氣速率∶ 4.4L/ S

 

*103G高真空機組:

產品國產分子泵愛德華分子泵
抽氣速率

·N2   33 L/s

.He    39 L/s

.H2   32 L/s

.N2     42L/s

.He      49L/s

.H2        45L/s

系統極限真空度<1E-4 Pa (配和本公司管式爐使用可達到1E-2Pa)<1E-6 Pa (配和本公司管式爐使用可達到1E-4Pa)
分子泵組成RVP-4機械泵和F-100/110分子泵隔膜泵和斡旋分子泵
使用電壓和功率電壓∶200~240v輸出功率∶ 150w電壓∶ 185-265v輸出功率∶100v
移動殼體尺寸:600 L)x600(w)x750(H)mm600(L)x600(w))x750(H)mm

 

溫控系統

 

采用PID方式調節溫度,可設置30段升降溫程序

溫控儀表中帶有過熱和斷偶保護

儀表控溫精度∶ +/- 1°C

熱電偶型號∶ K型

開門斷電

為保證使用安全該電爐為開門斷電設計

認證

 

所有電氣部件均為UL認證,并可通過TV、CSA認證

CE certified

質保

一年保修,終身技術支持。

特別提示∶ 1.耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內

 

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