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900°C小型RTP爐

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  • 型號
  • 品牌 合肥科晶
  • 廠商性質 經銷商
  • 所在地 南京市
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更新時間:2021-05-10 11:24:45瀏覽次數:262

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產品簡介

產地類別 國產 應用領域 醫療衛生,化工,生物產業,農林牧漁,電子/電池
900°C小型RTP爐 是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有4“石英管和真空法蘭,它是專為半導體和太陽能電池基片(頂值為3“)的退火而設計,采用10KW紅外燈管加熱快速升溫的頂值速度為50°C/秒,30段溫度控制,精度為+/-1°C,計算機通過RS485口和控制軟件實時控制爐子和顯示溫度曲線。

詳細介紹

設備名稱900°C小型RTP爐-OTF-1200X-4-RTP
主要特點

快速升溫,最高達50°C/s;快速降溫,最大117°C/min

超大管徑φ110m

最高溫度可達900°C

法蘭上安裝有滑軌可直接推拉操作

開門斷電

基本參數

*最高溫度:最高900°C(<10min);800°C(<30min);600°C(長期)

*最快升溫速率:室溫800°C:50°C/s,800°C-900°C:10°C/s

*最快降溫速率:60°C/min(<200 mtoorr),117°C/min(在一個大氣壓下)

*法蘭:KF-25D型不銹鋼高真空法蘭

*最慢降溫速率10°C/min

*加熱區長度:190mm

*控溫精度:+/-1°C(歐陸表型溫控儀表可達0.1°C)

*加熱元件:8根紅外燈管(每根1.5KW,圖1、2、3)

*熱電偶:可插入式的鎧裝熱電偶,進口K型熱偶,緊貼在放樣品的ALn片下

*最大功率:9KW(>60A保險)

*設備電源:AC220V/50HZ 單相

*循環水流量:0.5 m3/h

*標配流量計量程范圍:16-160 ml/min

 

尺寸

*760(L)*330(W)*530(H)mm(法蘭關閉)

*1200(L)*330(W)*530(H)mm(法蘭打開)

*爐膛尺寸:φ180*190

 

重量70KG
認證

所有電器元件(>24V)都通過UL/MET/CSA/CE認證,若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證。

保修

一年保修,終身技術支持。

特別提示:1、耗材部分如加熱元件,石英管,樣品坩堝等不包含在內。

2、因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

國家

名稱:一種快速高溫退火爐

編號:ZL-2011-2-0077168.4

尊重創新、鄙視抄襲、侵權必究

 

760(L)*330(W)*530(H)mm(法蘭關閉)

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