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三溫區1500°C PECVD系統

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  • 三溫區1500°C PECVD系統
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參考價 面議
具體成交價以合同協議為準
  • 型號 OTF-1500X-III-4CV
  • 品牌 合肥科晶
  • 廠商性質 經銷商
  • 所在地 南京市
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更新時間:2021-03-09 16:47:43瀏覽次數:357

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產品簡介

產地類別 國產 應用領域 環保,化工,電子/電池
三溫區1500°C PECVD系統 OTF-1500X-Ⅲ-4CV-PE-SL是一款三溫區1500℃的PECVD管式爐系統,它是由500W的射頻電源,1500℃三溫區管式爐、多通道質子混氣系統和真空系統組成。此款PECVD系統對于生長納米線、石墨烯或SiC薄膜是一個新的實驗幫手。

詳細介紹

三溫區開啟式1500°C管式爐

工作溫度1500℃連續使用溫度1400℃

個溫區分別由三個溫控系統來控制,都可設置30段升降溫程序每個溫區長度為200mm總溫區長度為600mm爐管為高純剛玉管

爐管尺寸∶(標配)60ODx53IDx1500mmL爐管尺寸∶(選配)800O.Dx73IDx1500mmL輸入電源∶ 208-240VAC,單相功率∶ 6.6KW

配有一對不銹鋼真空密封法蘭,法蘭上帶有石英觀察窗口

內爐膛表面涂有美國進口的1760度高溫氧化鋁涂層,可以提高設備加熱效率及反射率,同時延長儀器的使用壽命。

射頻電源

輸出功率∶5-500W±1%

射頻頻率∶13.56 MHz ±0.005%.

反射功率∶ 200W

匹配∶自動

射頻接口∶50 Ω,N-type

噪音∶<50 dB.

冷卻∶風冷

電源∶AC 208-.240V;5060Hz

 

防腐型真空計

輸入電源 24V,1A DC(配有一電壓轉換器)

測量范圍 3.8x10-5 1125 Torr.

數據顯示 數字顯示(屏幕尺寸為20x14mm),其數據顯示單位為tor接頭 1/8"NPT 接頭

產品尺寸 46mm×28mm×126mm(Lx WxH)

真空系統

采用TRP-12的雙旋真空泵,極限真空10E.3 Torr

KFD25快接,不銹鋼波紋管,手動擋板閥與法蘭,真空泵相連管內真空可達10E-2 Torr

質量流量計混氣系統

四個精密的質量流量計(精度15%)∶數字顯示,自動控制. MFC 1范圍∶0~100 cm MFC 2和3∶ 0~200 sccm MFC 4范圍∶0~500 scm一個混氣罐,底部裝有泄廢液口.

4個不銹鋼針閥安裝在供氣系統的左側,可手動控制4種氣體進氣口∶4個14NPS.出氣口∶4個 14NPs.

采用PLC控制流量計,通過觸摸屏進行控制

溫控系統

三個溫區分別由三個溫控系統控制采用PID方式調節溫度,可設置30段升降溫程序帶有超溫和斷偶保護控溫精度∶ +/- 1 °℃控溫儀表操作視頻

可選;此款設備可以安裝控制模塊,將溫度設置和溫度曲線導入到電腦

外形尺寸

爐體∶ 550x380x520 mm爐體下端移動柜∶ 1800×600×600mm凈重∶ 220Lbs.運輸重量∶ 1200lbs

 

質保期一年質保,終生維護
質量認證

CE認證

所有電器元件(>24V)都通過UL /MET/CSA認證

若客戶出認證費用,本公司保證單臺設備通過德國TUV認證或CAS認證

 

 

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