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我司銷售的旋轉涂層裝置（HO-TH-05）
閱讀：107 發布時間：2024-12-16Holmarc 的旋涂機（型號：HO-TH-05）是一種專用的臺式系統，用于在研究實驗室中對小型基底進行旋涂，旋涂過程參數控制良好。高速和持續時間范圍允許用戶獲得所需的薄膜厚度或薄度。旋涂頭執行器采用精密的直流伺服電機，維護量少，速度和加速度控制精確。由無油真空泵驅動的真空吸盤將基底固定在旋轉頭上。
該設備的用戶友好型前面板配有鍵盤和液晶顯示屏，可對旋轉過程進行編程。旋轉持續時間、旋轉速度、加速度等參數均可通過前面板進行編程。由于程序存儲器是非易失性的，因此在斷電的情況下記錄的參數也不會丟失。該機型配備了 9 個可編輯的預設程序存儲器，每個程序有 9 個步驟。
功能
卡盤直徑：14 毫米、22 毫米、36 毫米（O 形圈外徑）
工作腔上的透明安全蓋
非易失性程序存儲器
用戶友好型設計
背板電源開關
用于惰性氣體吹掃的入口和出口，6 毫米管道
規格
用戶界面：24 x 4 行字母數字 LCD 和 16 按鈕鍵盤
執行器：無刷直流伺服電機
程序存儲器：9 個程序，每個程序有 9 個步驟
速度曲線：速度、持續時間和加速度
旋轉速度：60 - 9999 RPM
速度分辨率：1 RPM
速度精度：+/- 1
加速/減速：10 - 2000 rpm/s（可通過輸入加速度間接設置斜坡和停留時間）
持續時間：每步 1 - 99 秒/分/小時
樣品卡盤：3 個（25 毫米、32 毫米和 45 毫米）
最大樣品直徑：100 毫米
最小樣品直徑：13 毫米
樣品碗材料：聚丙烯
碗尺寸：8 英寸
帶樣品分配口的透明蓋
排水軟管
安全聯鎖裝置，防止碗打開時旋轉
樣品架 ： 帶硅橡膠 O 型環的 PTFE 盤
樣品安裝：真空固定
真空連接器：8 毫米直徑卡入式軟管連接器
N2 吹掃接頭
真空泵開/關和釋放開關
尺寸（毫米） ： 400（長）x 275（寬）x 350（高）
交流電輸入：230 伏
最大功耗：260 瓦（帶真空泵）
應用范圍
旋涂技術在有機電子、納米技術、半導體工業和其他工業領域無處不在。
旋轉涂層廣泛應用于使用溶膠-凝膠前驅體在玻璃或單晶基底上微細制造功能氧化物層，可用于制造納米級厚度的均勻薄膜。在光刻技術中，它被廣泛用于沉積厚度約為 1 微米的光刻膠層。
可選配件
數字移液器，用于向基底分配液體
支架用于固定手動移液器
真空適配器，用于固定直徑從 30 毫米到 100 毫米不等的培養皿
機械夾或鎖，用于在不抽真空的情況下固定樣品
旋轉鍍膜是在平面基底上沉積均勻薄膜的技術之一。它廣泛應用于各種行業和技術領域。旋涂技術的優勢在于能夠快速、輕松地生產出厚度從幾納米到幾微米不等的非常均勻的薄膜。
在這項技術中，在低速旋轉或不旋轉的基底中心涂上少量涂層材料。然后基底高速旋轉，通過離心力使涂層材料擴散。在流體從基底邊緣脫落的同時繼續旋轉，直到達到所需的涂膜厚度。涂抹的溶劑通常具有揮發性，會同時蒸發。因此，旋轉的角速度越高，薄膜就越薄。薄膜的厚度還取決于溶液和溶劑的粘度和濃度。