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可變角度激光橢偏儀（HO-VALE-01）
閱讀：91 發(fā)布時間：2024-11-27橢偏儀是一種非常靈敏的光學(xué)技術(shù)，為薄膜計量提供能力。橢偏儀利用光的相位信息和偏振態(tài)，因此可以達(dá)到埃級分辨率。橢偏儀的
主要優(yōu)點是非破壞性、靈敏度高和測量范圍寬。通過這種技術(shù)可以精確測量薄膜的厚度和折射率等光學(xué)參數(shù)。
在型號為 HO-VALE-01 的橢偏儀中，一束圓偏振光入射到測試基底上，然后對線性偏振的反射光進(jìn)行偏振變化分析。
該儀器由兩個同心旋轉(zhuǎn)臂組成，圍繞著一個固定在重型底座上的精確刻度圓盤。一個臂上裝有激光源，另一個臂上裝有探測器組件。刻度盤的刻度
為 1°，分辨率為 0.1°。激光源和探測器的電源分開放置。偏振鏡、分析儀和四分之一波板固定在光路中的精密旋轉(zhuǎn)平臺上，刻度范圍為 0 - 360°
，分辨率為 0.1°。偏振鏡和分析儀均使用格蘭-湯普森棱鏡。
樣品放置在精密測微計驅(qū)動的垂直平臺上，高度調(diào)節(jié)范圍為 10 毫米，分辨率為 0.01 毫米。激光源的入射角可在 30° 和 90° 之間調(diào)節(jié)。對于空點
法，如果需要，可以用微型屏幕代替探測器，以便目測空點。
如圖所示，隨機偏振激光（532nm）通過偏振器，偏振器將偏振光從隨機偏振變?yōu)榫€性偏振。然后，線性偏振光通過四分之一波板（將快速軸設(shè)
置為 45 度），使偏振狀態(tài)從線性偏振變?yōu)閳A形偏振。經(jīng)過樣品薄膜的反射，圓偏振光變?yōu)榫€性偏振光，分析儀測量偏振程度
測量范圍
測量范圍：1 納米 ~ 300 納米
入射角度：30° ~ 90°，
旋轉(zhuǎn)范圍
偏振器：0° ~ 360
四分之一波：0° ~ 360
分辨率：0.1 度
激光器：DPSS（532nm，5mW）
激光臂
旋轉(zhuǎn)范圍：70 度（從水平面開始）
主刻度分度：1 度
分辨率：0.1 度
探測器
類型：硅光電二極管 硅光電二極管
有效面積：5.8 x 5.8 毫米
探測器臂
旋轉(zhuǎn)范圍：70 度（從水平面算起）
主刻度分度：1 度
分辨率：0.1 度
樣品架
高度調(diào)節(jié)范圍：10 毫米
驅(qū)動分辨率：10 微米
傾斜范圍：+/- 2 度