掃描電子顯微鏡知識介紹
掃描電子顯微鏡的適用范圍:
1、生物學:種子、花粉;
2、醫學:血球、病毒;
3、動物學:大腸、絨毛、細胞、纖維;
4、材料:陶瓷、粉末、環氧樹脂;
5、化學、物理、地質、冶金、礦物、污泥 、機械、電機及導電性樣品,如半導體(IC、線寬量測、斷面、結構觀察)電子材料等。
掃描電子顯微鏡基礎知識具有以下的特點:
(1) 可以觀察直徑為0 ~ 30mm的大塊試樣(在半導體工業可以觀察更大直徑),制樣方法簡單。
(2) 場深大、三百倍于光學顯微鏡,適用于粗糙表面和斷口的分析觀察;圖像富有立體感、真實感、易于識別和解釋。
(3) 放大倍數變化范圍大,一般為 15 ~ 200000 倍,對于多相、多組成的非均勻材料便于低倍下的普查和高倍下的觀察分析。
(4) 具有相當高的分辨率,一般為 3.5 ~ 6nm。
(5)可以通過電子學方法有效地控制和改善圖像的質量,如通過調制可改善圖像反差的寬容度,使圖像各部分亮暗適中。采用雙放大倍數裝置或圖像選擇器,可在熒光屏上同時觀察不同放大倍數的圖像或不同形式的圖像。
(6) 可進行多種功能的分析。與 X射線譜儀配接,可在觀察形貌的同時進行微區成分分析;配有光學顯微鏡和單色儀等附件時,可觀察陰極熒光圖像和進行陰極熒光光譜分析等。
(7) 可使用加熱、冷卻和拉伸等樣品臺進行動態試驗,觀察在不同環境條件下的相變及形態變化等。