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| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 化工,電子/電池,電氣 |
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在較高溫度或低溫下還可能需要使用真空罐(Vacuum Chamber)。
產品簡介
詳細介紹
如果實驗樣品需要在不同溫度下進行分析測量，這時就可能需要熱吸盤(Hot Chuck)或者低溫(Cryogenic)系統,
在較高溫度或低溫下還可能需要使用真空罐(Vacuum Chamber)。
熱吸盤(Hot Chuck)
1.采用低噪聲直流驅動
2.絕緣套件用于低電流(pA)測試
3. 配備水冷裝置，快速將加熱卡盤降至室溫
4. 大多數探針臺可安裝
5. 不需特殊連接適配器即可安裝
6. 卡盤材質為不銹鋼，以獲取均溫性，避免重金屬沾污
7. 配備溫度控制器，可選多種加溫曲線
8. 設計有冷卻隔絕裝置，熱吸盤溫度不會通過金屬傳導而引起探針臺整體精度下降
加熱卡盤規格：
卡盤尺寸 | 3", 4'', 6'', 8'', 12" dia. x 1'' Thick |
卡盤平坦度 | +/-10μm |
溫度范圍 | RT-200?C |
溫度分辨率 | 0.1?C |
溫度度 | 100?C,±0.5?C; 200?C,±1?C; 300?C,±2?C; 400?C,±3?C |
從25?C加熱到 | 100?C, 150?C, 200?C |
4英寸卡盤所需時間 2:00 、 3:30 、5:00 | |
加熱驅動方式 | 直流 |
材料 | 不銹鋼 |
電源 | 110 VAC, 60Hz |
加熱功率 | 4'' 700W ; 6'' 1000W ; 8'' 1500 W |
真空泵 | -250 mmHg, 7 liter/min |
水流量 | 20 升/分鐘 |
溫度控制器 | |
附件與升級：
溫度高可達 300 ℃, 400 ℃, 500 ℃, 600 ℃, 700 ℃, 800 ℃
溫度低可達 5 ℃, -50 ℃, -65 ℃, 或者低溫77 °K
連接適配器，用于與其他品牌探針臺的裝配
方形卡盤，根據要求定制
更高精度、高均勻性、快速升溫等，根據要求定制
水冷卻槽
絕緣套件，用于低電流測試
液晶套件
真空罐
C-V測量附件
測量儀器與帶腳輪的儀器機柜
真空圈，客戶訂制
鍍金卡盤
鍍鎳卡盤