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一、概述

IRE-200是一款超高精度的外延層厚度測量設備，利用紅外光譜經傅里葉變換進行快速分析，主要應用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各類外延片的外延層厚度測量。

■ 單拋/雙拋等多種模式選擇支持；

■ 自定義mapping功能；

■ 高檢測速率：Si標準外延片測量25點≤3min；

■ 高檢測精度：≤0.01um 。

二、產品特點

1）設備采用高性能光源模塊，光源穩定性好，信噪比高，覆蓋范圍7800-350cm^-1。

2）搭配自主研發算法軟件，可精準快速地獲取測量結果。

3) 搭配自主研發的mapping運動臺，定位精準、測量速度快。

三、產品應用

IRE-200廣泛應用于半導體行業中Si、SiC、GaAs、InP、GaN等基底材料上外延層厚度的量測。

SiC EPI量測案例

技術參數