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IRE-200 膜厚測試儀
  • IRE-200 膜厚測試儀
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貨物所在地:湖北武漢市

地: 武漢東湖新技術開發區金融港四路

更新時間:2024-07-03 16:03:12

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IRE-200是一款超高精度的外延層厚度測量設備,利用紅外光譜經傅里葉變換進行快速分析,主要應用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各類外延片的外延層厚度測量。


一、概述

IRE-200是一款超高精度的外延層厚度測量設備,利用紅外光譜經傅里葉變換進行快速分析,主要應用于Si、GaAs、InP、SiC、GaN等各類外延片的外延層厚度測量。

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單拋/雙拋等多種模式選擇支持;

■ 自定義mapping功能;

■ 高檢測速率:Si標準外延片測量25點≤3min;

■ 高檢測精度:≤0.01um 。

二、產品特點

1)設備采用高性能光源模塊,光源穩定性好,信噪比高,覆蓋范圍7800-350cm-1

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2)搭配自主研發算法軟件,可精準快速地獲取測量結果。

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3) 搭配自主研發的mapping運動臺,定位精準、測量速度快。

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三、產品應用

IRE-200廣泛應用于半導體行業中Si、SiC、GaAs、InP、GaN等基底材料上外延層厚度的量測。

SiC EPI量測案例

     

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技術參數

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