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貨物所在地:湖北武漢市
所在地: 武漢市東湖高新區(qū)華工科技園創(chuàng)智
更新時間:2024-11-22 21:00:35
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在線詢價收藏產(chǎn)品( 聯(lián)系我們,請說明是在 化工儀器網(wǎng) 上看到的信息,謝謝!)
一、概述
SE-Vi 是一款集成式原位光譜橢偏儀,針對有機(jī)/無機(jī)鍍膜工藝研究的需要開發(fā)的原位薄膜在線監(jiān)測中的定制化開發(fā),快速實現(xiàn)光學(xué)薄膜原位表征分析。
二、測試案例
成膜工藝監(jiān)控
膜厚表征
三、產(chǎn)品應(yīng)用
光譜橢偏儀廣泛應(yīng)用于金屬薄膜、有機(jī)薄膜、無機(jī)薄膜的物理/化學(xué)氣相沉積,ALD沉積等光學(xué)薄膜工藝過程中實際原位在線監(jiān)測并實時反饋測量物性數(shù)據(jù)。
四、技術(shù)參數(shù)
頤光科技注冊于武漢東湖國家自主創(chuàng)新示范區(qū),立足光谷,面向,為用戶提供光學(xué)散射測量儀等系列產(chǎn)品,并提供儀器、軟件、服務(wù)等綜合解決方案。產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于集成電路、半導(dǎo)體、光伏太陽能、平板顯示、LED照明、存儲、生物、醫(yī)藥、化學(xué)、電化學(xué)、光學(xué)鍍膜和保護(hù)膜、減反膜、光刻材料等眾多領(lǐng)域。
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