一、產品概述

HRSR膜厚傳感器提供半導體復雜膜層在線量測解決方案。

二、膜厚傳感器產品特點

■ 超精密厚度測量，滿足5μm-800um的厚度監測 ；

■ 可測量所有具有粗糙、反射或不透明表面 ；

■ 對惡劣的工業環境適應性高 ；

■ 對熱、濕或振動不敏感；

■ 采樣速率大于3KHz。

三、測量原理

技術參數

武漢頤光科技有限公司(Wuhan eoptics Technology Co., Ltd.)是國內專業從事橢偏儀以及光學納米測量設備研發、制造與銷售的高新技術企業，公司由多位具有二十多年偏振光學測量經驗的專家聯合創辦，與華中科技大學緊密合作，是國內橢偏光學儀器領域頗具優勢的技術團隊。

公司注冊于武漢東湖國家自主創新示范區，立足光谷，面向全球，為科研和工業用戶提供儀器、軟件、服務等綜合解決方案。

產品廣泛應用于集成電路、半導體、光伏太陽能、平板顯示、LED照明、存儲、生物、醫藥、化學、電化學、光學鍍膜、光刻材料等眾多領域。