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蔡司雙束電鏡 Crossbeam 550 Samplefab

[產品簡介]

蔡司雙束電鏡 Crossbeam 550 Samplefab，作為一款專為半導體行業TEM樣品制備開發的聚焦離子束掃描電子顯微鏡（FIB-SEM），提供優異的靈活性、自動化功能和用戶友好設計，幫助半導體行業的樣品制備更加簡便高效。

[產品特點]

l  行業標準軟件界面

l  優化配置提升設備和軟件穩定性

l  全自動TEM樣品制備體驗

l  原位（in-situ, lift-out）與非原位（ex-situ, pick-up）靈活可用

l  高質量的自動與手動制樣

[應用領域]

電子和半導體行業，失效分析及TEM樣品制備。

【應用案例】

分別使用全自動非原位（ex-situ, pick-up）與原位（in-situ, lift-out）制樣的 TEM 薄片樣品

手動最終減薄的 7nm 工藝處理器，平面 TEM 薄片

使用 Crossbeam 內 STEM 探測器拍攝