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詳細介紹
日本pureron高過濾精度陶瓷氣體過濾器PGFL系列
- 高過濾精度、低壓力損失
在保持本公司以往產品PGF系列的高過濾性能的基礎上，實現了低壓力損失。外形尺寸與以往的PGF系列*相同，處理能力達到了原來的約兩倍。 - 蝕刻和薄膜形成時必*高選擇性
在追求高選擇性的過程中，極其重要的一點是去除水、氧氣等不純物的問題。為了切實地做到去除不純物，首先必*，是在高溫狀態下進行烘烤。從該觀點出發研制出的陶瓷過濾器可進行200℃的高溫烘烤。 - 零維護實現成本削減
能夠根據粒子粒徑大小分階段進行過濾的三層結構，因此幾乎不會有堵塞的問題。并且與以往的過濾器相比，具有高耐久性、高耐熱性特征的陶瓷過濾器不會在使用過程中出現故障。所以不會因生產線暫時中斷而帶來經濟損失，并可長期持續地削減成本。
日本pureron高過濾精度陶瓷氣體過濾器PGFL系列
規格
| 過濾精度 | 0.003μm（但是，純水過濾時は0.1μm） | |
|---|---|---|
| 推薦流量 | 20～400?/min（各型號區別：參考流量特性曲線) | |
| 設計壓力 | 17MPa (2,465PSIG) at20℃ | 本產品全部經過14.7MPa的耐壓測試后出貨。但是，依據日本國內的高壓氣體保安法，最高使用壓力的顯示和使用是不超過1MPa。關于1MPa以上的高壓煤氣認定品，請詢問我們。 |
| 常用壓力 | 1MPa(145PSIG)未滿 | |
| 最大容許差壓 | 9.6MPa (1,392PSIG) at20℃ | |
| 最高連續使用溫度 | 120℃ | |
| 烘烤溫度 | 200℃ | |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec以下 | |
| 構成材料 | 外罩：SUS316L 內表面粗糙度：Rmax0.7μm以下 元素：氧化鋁陶瓷(Al2O3) 密封圈：PTFE | |
| 連接零件 | 1/4"、3/8"、1/2"、3/4" Gasket seal、 Compression seal、UPG®、其它 | |
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