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thermocera薄膜實驗設備介紹
閱讀：672 發布時間：2023-3-24thermocera薄膜實驗設備介紹
【MiniLab系列柔性薄膜實驗設備】可根據各種客戶要求模塊化配置進行定制。 我們還滿足高規格要求，如多路濺射、氣相沉積、多維同步成膜和多腔室系統。 所有組件都存儲在 19 英寸機架（單、雙、三）的緊湊框架中，所有操作和數據管理都可以通過單個 7 英寸觸摸面板（或 Windows PC）集中管理。 我們通過與手套箱無縫連接、氣相沉積掩模/基板自動轉換器、去除 1D/PMMA 等抗蝕劑的“軟蝕刻"和晶圓級石墨烯合成設備 [nanoCVD-WGP（MiniLab-2 的應用設備）]等原創技術為研究和開發做出貢獻。
真空沉積（金屬和有機材料）
磁控濺射
電子束沉積
射頻/直流等離子體蝕刻
退火
熱CVD
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