在水的滅菌處理中，氧氣源臭氧發生器/自動化水廠消毒設備對一般的微生物、細菌、霉菌、酵母菌、大腸菌群等有害物都很有效，殺滅率為99%。臭氧的滅菌作用來自它強大的氧化能力。臭氧具有非常強的氧化性，它能破壞分解細菌的細胞壁，并迅速向細胞內擴散，將細菌內必須的葡萄糖氧化酶等氧化分解為葡萄糖，也可直接與細菌、病毒等發生作用，使細胞分解蛋白質、大分子聚合物如脂類等，使細菌的新陳代謝和繁殖過程受到破壞。

臭氧技術于1905年應用于水處理，隨著相關技術的進步，臭氧化法成本的降低，被普遍認為是很有發展前景的水處理方法。由于其技術經濟的優勢，已經在廣泛應用了，取得了一些研究和工程的應用的成果。

氧氣源臭氧發生器/自動化水廠消毒設備工作原理：將臭氧打入水中，臭氧的消毒滅菌、除異味的功能是通過臭氧的強氧化特性，臭氧能氧化微生物細胞的有機物或破壞有機體鏈狀結構而導致細胞死亡，因此，臭氧對頑強的微生物如病毒、芽孢等有強大的殺傷力。臭氧首先使膜構成成份受損傷導致新陳代謝障礙，而后繼續滲透穿透膜而破壞膜內脂蛋白和脂多糖，改變細胞的通透性，導致細胞溶解、死亡。因此，臭氧在殺傷微生物的同時，還能氧化水中的各種有機物，去除水中的色、嗅、味和酚等。

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