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由于臭氧發生器污水處理提標改造工藝產生的臭氧具有很強的氧化性、滅菌消毒能力和難以替代的脫色除臭功能，在很多情況下，廢水深度處理需要采用臭氧技術來達到更好的處理效果。在廢水處理中，臭氧可用于去除化學需氧量和生化需氧量、破壞有機物。臭氧及其活潑的化學需氧量自由基使污水中的發色基團不飽和鍵斷裂，產生小分子酸和醛，產生低分子量的有機物，顯著降低水的色度，使廢水中存在的金屬離子氧化成不溶于水的化合物沉淀，有助于凝聚，改善沉淀效果，有效控制有機微生物，使循環水中的化學需氧量和二氧化碳（吸收有機鹵化物）的數量控制在低水平，從而獲得比較好的水質。
臭氧具有比氯強的氧化消毒能力，不僅能更比較*地地消毒，還能降低水中含有的有害成分，去除重金屬離子和多種有機物等雜質，如鐵、錳、硫化物、苯、酚、有機磷、有機氯等臭氧適應性強，受水溫、PH影響小。臭氧適應范圍廣，不受菌種限制，滅菌效果優于氯消毒和紫外線消毒。與氯不同的是，殘余臭氧可以自行分解為氧氣，不會造成二次污染。經臭氧處理的水無色無臭，可以提高飲用水的質量。
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