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氧氣源臭氧發生器消毒機具有消毒能力強、無殘留污染的優點。在發達國家，廣泛應用于醫藥、電子、化工、光學和生物產品、基因工程、食品飲料生產、食品儲存加工、海鮮加工、海洋運輸等領域。醫藥、生物制品、基因工程等行業可利用臭氧消毒無菌生產環境，凈化空氣的生產設備、模具、工具、容器、反應罐、輸液、材料輸送、輸氣管道也可消毒原輔料、包裝材料、工作服等。
氧氣源臭氧發生器消毒機是臭氧技術的一大進步。與使用空氣源相比，氧氣源大大改變了臭氧發生器的臭氧功能，具體表現如下：
1、氧氣源可使臭氧出口濃度提高8~10倍。空氣源臭氧發生管的出口濃度為9~11毫克/升，低于1毫克/升。有氧時，出口濃度可達80~130毫克/升。
2、氧氣源可大大提高臭氧的滅菌或氧化能力。高濃度氧產生高濃度臭氧。大大提高臭氧的滅菌和氧化能力。有些細菌和病毒很難用空氣源臭氧殺死，但用氧源臭氧很容易殺死。有些化合物只能用氧源臭氧氧化。
3、氧氣源可增加臭氧產生的3-5倍。與空氣源臭氧發生器相比，氧源臭氧發生器的產量增加了3~5倍，臭氧發生器的使用效率大大提高。
4、氧氣源不受氮化物污染。臭氧管道使用空氣源時，由于空氣中含有78%的氮，臭氧發生時產生氮化物。使用氧源，避免氮化物產生。
5、氧氣源系統體積小。臭氧發生器采用空氣源，氣體預處理結構復雜，比氧源臭氧發生器至少大三倍，耗電量也相應增加，修理費用增加。利用制氧機供氧，臭氧濃度大大提高，綜合成本大大降低。
