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根據氣源系統，氣源臭氧發生器可分為氣源臭氧系統和氧源臭氧系統。空氣源臭氧發生器廠家產品的判別系統配置基本上是空壓機、冷凍干燥機、吸附干燥機、四級過濾器。
氧源臭氧系統的配置基本上是空壓機、凍干機、多級過濾器、氧氣發生器系統（當使用氧氣瓶作為氧源時，不需要上述機械設備），影響臭氧發生器輸出的參數基本上是基于濃度、氣體體積、壓力、功率、電流、溫度六個點。六項數據相輔相成，缺一不可。每個數據都會影響臭氧發生器的實際輸出。
臭氧產生量（g/h）=濃度×氣體體積（標準大氣壓下），臭氧設備的反應室一般有一定的壓力，所以臭氧發生器產生量（g/h）=濃度×氣體體積×壓力（一個標準大氣壓下的出口壓力）。
根據公式，臭氧的實際產量由濃度、氣體體積和壓力決定。空氣源臭氧發生器廠家大多在設備配置上有進氣轉子流量計、腔體壓力表、三相電流表，可以用肉眼簡單判斷氣體體積、壓力、電流。臭氧濃度根據設備的規格、結構和排放參數確定。臭氧濃度的監測可以根據臭氧濃度檢測儀來確定。更準確地說，在某些條件下采用化學滴定監測，如碘量法。臭氧濃度單位為毫克/升或克/立方米。臭氧氣體體積單位為m³/h或L/min（1m³/h=1000L/60min）。氣體體積可以通過轉子流量計觀察判斷，流量計上的流量大多處于壓力（一個標準大氣壓）下，所以臭氧發生器在一個標準大氣壓下的實際氣體體積應為：流量計顯示的氣體體積讀數×（壓力表顯示的氣體體積度數+1）。
