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目前的純凈水、自來水、瓶裝水的消毒一般采用臭氧消毒法，消毒效果好，無污染物殘留。
如今，農村地區正在統一安裝自來水。一般都是打深井，收集深層地下水，過濾消毒，然后供給個體住戶。現在使用臭氧消毒設備對地下水進行消毒。
地下水收集后，進行砂濾和鹽濾，然后采用反滲透工藝。出水采用臭氧發生器射流法與氣體和液體混合，在反應池中與臭氧充分融合，實現滅菌消毒。此時，可以向每個家庭供應污水。
地下水消毒用臭氧發生器設備是一種廣譜、效率高、快速的滅菌劑。在一定濃度下，臭氧可以迅速殺死水和空氣中使任何生物體生病的各種病菌和微生物，其滅菌速度是氯的兩倍以上。更重要的是，臭氧滅菌后還原成氧氣，沒有任何殘留和二次污染，這是其他化學藥劑無法達到的，因此被稱為綠色環保元素。
太空水、純凈水、礦泉水、保健飲料的臭氧處理可以保證達到世界衛生組織（WHO）規定的雙零標準。自來水臭氧處理可以避免氯氣處理造成的二次污染。
雖然應用臭氧會產生副產物，但其濃度一般不高，毒性也不嚴重。根據當前的研究，就副產物的數量和毒性以及流出物的誘變活性而言，臭氧優于二氧化氯。
臭氧是一種效率高的氧化消毒劑，其氧化消毒能力受水中的酸堿度和氨氮影響較小，消毒過程中不產生有害物質，是氯消毒的理想替代品。
地下水消毒用臭氧發生器設備適用于：微污染自備井供水不合格，單個自備井供水過濾鐵錳超標。
