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消毒用臭氧發生器系統安裝是影響后期深度處理系統順利運行的根本因素之一。正確的安裝步驟總結如下：
（1）目前水廠規模基本在10萬m3/d以上，使用的單臺臭氧發生器往往在10kg/h以上，因此必須考慮設備的運輸、吊裝和定位。
（2）管道工程的安裝必須符合管道工程圖紙的要求。管道和閥門必須用足夠數量和強度的適當支架固定。
（3）搬運和安裝管道時，必須確保管道系統清潔，不受油、油脂和灰塵等污染物的污染。處理過的管件必須兩端堵塞，然后存放在干燥干凈的地方；已安裝的管件也必須在其開口端受到保護，以防止灰塵和碎屑進入。
（4）閥門和儀表應在打開包裝后非常迅速地安裝，這對已清洗的精密設備尤為重要。
（5）管道上的吸入口和通風出口應有適當的保護設施，防止雨水、污物、鳥類和昆蟲侵入。通常的做法是在管道上加一個擋風板，用合適的材料做一個絲網。
（6）管道焊接必須采用惰性焊接方法。V形焊接間隙必須正確焊接，并且在焊縫根部具有光滑的表面。所有焊縫均應進行無損檢測，焊縫質量應符合相關標準。
（7）由于氧氣和臭氧對火災和生命都有危險，所有氣體管道都必須進行壓力密封試驗。
（8）后臭氧氧化曝氣系統，安裝時要注意臭氧曝氣頭的安裝水平和清潔度，曝氣頭要用固定扭矩板擰緊。
（9）建議在消毒用臭氧發生器系統安裝中的放電箱進氣口安裝氣體過濾器，這是保護放電管的關鍵。
