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飲用水滅菌處理臭氧發生器在水中分解時，產生的羥基具有很強的氧化能力，能快速去除水中的鐵、錳、異味、細菌、病毒等雜質，使水分子變小，使水變甜，而且可以*消除自來水中的氯等鹵代有機物。
（1）臭氧是有毒物質，對人的眼睛和呼吸器官有很強的刺激作用。一般大氣中臭氧的體積比較大，達到濃度后會引起頭痛等癥狀。GBZ1-2002《工業企業設計衛生標準》規定，車間空氣中O3允許濃度為0.3mg/m3。
（2）臭氧非常不穩定。在常溫常壓下，很容易分解成氧氣，放出熱量。臭氧在空氣中的分解速率與溫度及其濃度有關。溫度越高，臭氧分解速度越快，分解速度越快。與空氣中的氫氧根離子相比，臭氧在水中分解更快，水中的氫氧根離子具有很強的催化作用，所以pH值越高，臭氧分解越快。因此，它不能儲存和運輸，必須準備在現場使用。
（3）臭氧具有很強的腐蝕性，除鉑、金、銥和氟外，幾乎能與元素周期表中的所有元素發生反應。因此，所有與它們接觸的容器、管道和擴散器都應由耐腐蝕材料制成，如不繡鋼、陶瓷、聚氯乙烯塑料等。
（4）飲用水滅菌處理臭氧發生器在水中的溶解度只有10mg/L，所以排入污水中的臭氧無法充分利用。為了提高臭氧的利用率，建造了水深5~6m的接觸反應池或封閉式多柵串聯接觸池，并設置了管式或板式微孔擴散器來分散臭氧。
