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當下有越來越多的企業和工廠開始使用臭氧發生器設備來凈化水資源。氣隙放電法多用于水處理消毒用大型臭氧發生器，因為其濃度要求高，消耗的功率很大，器件溫升是必然的。溫升是影響臭氧產生和設備使用壽命的主要因素，所以一般需要冷卻，主要是風冷和水冷，部分通過冷風源解決。采用哪種方法取決于設備設計。
在成分和電源相同的情況下產生臭氧，臭氧產量與氣源干燥度成正比，即氣源干燥度越高，產生量/小時值越高，因此對氣源進行凈化干燥一般稱為氣源預處理或氣源干燥系統。目前主要的氣源干燥方法有冷凍法、結露法、化學法等，干燥度的計算值等于空氣溫度。例如，-40℃是指空氣源在-40℃時的干燥度。
氣水混合裝置是水處理中臭氧*的支撐技術。臭氧易溶于水，溶解度比氧氣高十幾倍。但必須采用與臭氧充分接觸的技術手段。接觸面積、時間、臭氧濃度和壓力是影響混合效果的決定性因素。儲罐、輸液、輸送管道、反應罐、混合罐等密封容器的消毒，都是該設備的適用范圍。
飲用水處理采用臭氧發生器，氯化工藝逐漸取代臭氧工藝。臭氧發生器已在新的飲用水處理系統中得到應用和補充。水處理用臭氧發生器用于廢水處理，可與預處理或后處理等其他處理方法結合使用。
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