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氧源臭氧發生器不同于空氣源。空氣源臭氧發生器以空氣為源材料，電離空氣中存在的21%的氧氣，因此被稱為空氣源。
消毒用氧源臭氧發生器與空氣源的區別：
*光化學紫外技術產生臭氧高臭氧紫外燈——在253.7nm紫外線處產生大量臭氧。
*等離子體與臭氧協同作用的方法，即沿方向放電的方法。
*放電管式臭氧發生器的臭氧產生過程主要包括電解、核輻射、紫外線、等離子體和電暈。電解：把水電解成氧氣，然后把游離的氧氣變成臭氧。在壓力下，可以產生更高濃度的臭氧。
工業上采用空氣或氧氣干燥，無聲放電采用5~25kv交流電壓。另外，低溫電解稀硫酸或加熱液態氧都可以產生氧氣。空氣中臭氧的濃度一般為10-20毫克/升，氧氣中臭氧的濃度為20-40毫克/升..臭氧含量1%-4%（質量比）的空氣可以用來消毒水。
消毒用氧源臭氧發生器與空氣源的區別：
*空氣源臭氧發生器以空氣為源材料，電離空氣中存在的21%的氧氣，因此被稱為空氣源。
*氧源臭氧發生器以氧氣為源材料，將純氧電離，故稱氧源，臭氧源分為內置式和外置式，在產品設計上有一定區別。
*氧氣源臭氧發生器與空氣源臭氧發生器的不同之處在于，氧氣發生器首先產生純氧，然后純氧通過臭氧管中的高壓放電產生高濃度臭氧氣體。因此，氧源臭氧發生器的濃度通常比空氣源臭氧發生器的濃度高幾倍。
