臭氧發生器氣源系統總述：

用于臭氧產生的氣體必須是氧氣或含有氧氣的氣體，氣體中應該盡可能不含有水分、灰塵、油、碳氫化合物（烴）和氫之類的雜質。所有這些雜質都會對臭氧形成過程產生不良影響，并可能對設備產生嚴重的損壞。

供給臭氧發生器的原料氣體品質指標要達到如下要求：

a．含水量：要求氣源露點低于-45℃，建議能低于-55℃；

b．含油量：要求含油量低于0.01mg/m³(21℃)，建議能低于0.003mg/m³(21℃)；

c．雜質顆粒度：要雜質顆粒小于1μm，建議能小于0.01μm；

d．溫度：一般要求溫度不高于25℃；

e．壓力：要求有一定的壓力，一般要求0.1MPa以上，以保證臭氧發生器穩定工作并滿足后級臭氧氣體輸送及投加的需要。

獲取原料氣體直接的來源就是空氣，但由于空氣并不*具有上述要求，因此為獲取達到上述要求的空氣，必須對空氣經過一定形式的處理。處理空氣有以下兩種方式：

a．按一定的工藝要求處理空氣，使之達到上述要求；

b．從空氣中分離出氧氣，使用純氧作為氣源。

根據這兩種方式形成了空氣源系統和氧氣源系統。