臭氧發生器常用的氣源大體可分為下列幾種：

1）干燥空氣氣源——無油的壓縮空氣經過冷卻、干燥、過濾處理后作為原料氣使用；

2）富氧氣源——無油壓縮空氣經過冷干處理送入PSA空分系統將氮氣和氧氣分離，并將氧氣收集作為原料氣（此原料氣含有惰性氣體和二氧化碳及少量氮氣，并非純氧氣所以稱為富氧源）；

3）工業氧氣源——通常使用瓶裝工業氧氣（大多適用于小型臭氧發生器）；

4）液氧——液態氧經過汽化器汽化減壓后送入臭氧發生器作為原料氣（常用于大型臭氧發生器）。