與UV輻射照射相比，臭氧發生器具有以下優勢：

（1）臭氧滲入各處，*。UV光只有照射到物體表面，才能達到一定的照射強度標準。食品廠一般較高，造成紫外線照射強度遠遠不夠，尤其距離較遠，照射時產生很大的死角，如加工板材下端等。具有良好的滲透性能，擴散性好，濃度均勻，*；

（2）快速滅菌。UV光照射滅菌需要較長的作用時間，一般照射6小時以上，符合標準濃度的臭氧只需開啟1小時以上；

（3）高濕度條件下的滅菌效果較好。當環境相對濕度超過60%時，紫外線照射滅菌效果急劇下降，濕度超過80%時，滅菌效果就會恢復。臭氧氣則相反，濕度越大，滅菌效果越好。由于在高濕度下細胞膜膨脹變薄，其組織易受臭氧破壞，這一特點尤其適用于食品工業中常見的高濕環境；

（4）具有低濃度清潔作用。生產人員在紫外線照射下必須離開現場，照射完成后不能用低功率紫外線照射清洗；臭氧消毒時，生產人員必須離開現場，消毒完成后可降低臭氧發生量，使用符合衛生標準的低濃度臭氧繼續清洗生產車間的空氣，除臭凈化效果很好。