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美國 Nonsequitur 低能量離子槍 真空 1402W
美國 Nonsequitur 低能量離子槍 真空 1402W
聚焦柱經過優化,能量吞吐量低
高亮度電子撞擊源可最大限度地去除塊狀材料
發射調節轟擊提供穩定的離子電流,前面板可調節動態范圍 x300
連續可變的光束能量高達 5keV
可更換的光束微調光圈,典型使用壽命大于 500 小時
雙燈絲提供操作備份,燈絲典型使用壽命 > 500 小時
所有 UHV 兼容和抗蝕刻材料均用于制造
可在惰性氣體、氧氣和可選的索里亞燈絲范圍內運行
中性抑制柱中的 3 度彎曲
2 級差分泵,可在極低的腔室壓力下運行
工作距離 20 毫米
光束能量 10eV 至 5keV 連續可變
光柵尺寸 7 x 7 毫米(最小值)
安裝法蘭 70 毫米(2.75 英寸)外徑 CF
差分泵 70 毫米(2.75 英寸)外徑 CF
供氣入口 34 毫米(1.33 英寸)外徑 CF
源氣體 H2、He、N2、Ne、Ar、Kr、Xe
烘烤溫度: 最高 100 °C
Duoplasmatron Duoplasmatron Equavalent Ion Guns Model 1402 Model 1403 TOF/SIMS Model 1403Cs - Cesium/Alkali Ions Model 1404 Model 1407 Model 1420 Model 1450 Nonsequitur SIMS 二次離子質譜 雙等離子發射器 真空測試 真空系統 真空腔 真空表面化學實驗 離子槍 離子源 聚焦離子源 表面分析儀器
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