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ALD20 UHP 閥門是世偉洛克 ALD 產品系列的新成員。正在申請利的設計允許利用具有挑戰性的低蒸汽壓前體。ALD20 采用超高純波紋管，因此與其他 ALD 閥相比，可促進清潔操作并具有更高的流量。
此外，ALD20 閥可以*熱浸在氣箱中，并可以從 50°F （10°C） 加熱到 392°F （200°C）。
產品簡介
詳細介紹
世偉洛克VAR ALD原子沉積隔膜閥
ALD20 UHP 閥門是世偉洛克 ALD 產品系列的新成員。正在申請利的設計允許利用具有挑戰性的低蒸汽壓前體。ALD20 采用超高純波紋管，因此與其他 ALD 閥相比，可促進清潔操作并具有更高的流量。
此外，ALD20 閥可以*熱浸在氣箱中，并可以從 50°F (10°C) 加熱到 392°F (200°C)。
規格
工作壓力 真空 20 psig (1.4 bar)
爆裂壓力 >3200 psig (220 bar)
執行壓力 70 90 psig（4.8 6.2 bar）
溫度 50° 392°F（10° 200°C）
流量系數 (Cv) 1.2 (MSM) 或 1.7（直通型）
閥體材料 316L VIM-VAR 或合金 22
波紋管材料 合金 22（5 μin.Ra 表面粗糙度）
端接
世偉洛克VAR ALD原子沉積隔膜閥
類型（尺寸） 內螺紋 VCR 接頭 (1/2 in.)
可旋轉外螺紋 VCR 接頭 (1/2 in.)
卡套管對焊，長 0.50 in. (1/2 in. x 0.049 in.)
模塊化表面安裝高流量 C 型密封 (1.5 in.)
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