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| 應用領域 | 化工,生物產業,石油,能源,航空航天 |
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產品簡介
詳細介紹
世偉洛克低流量角形計量閥
流體系統對良品率潛力的影響。
流體和氣體系統對良率的影響主要受到兩個關鍵因素的影響：污染和腐蝕。
先，隨著工藝晶體管的不斷小型化，抗污染性已成為超高純度生產環境中越來越重要的性能指標。即使是微不足道的微觀外來顆粒也會引起重大問題。正確的流體系統組件可以幫助限制污染物進入芯片制造過程，從而有助于在生產過程中提高可用芯片的產量。
其次，隨著半導體生產工藝越來越多地使用更具腐蝕性的工藝氣體，這可能需要越來越高的工作溫度，因此腐蝕可能性增大。由于需要更換這些系統中腐蝕的閥門、接頭或卡套管而導致的任何停機都可能導致生產停頓并大大降低整體良品率。優異的耐腐蝕性可以幫助制造商避免此類停機的發生。安全也是這里的主要考量 - 系統組件運行不正常會導致潛在的危險泄漏。
世偉洛克低流量角形計量閥
可以通過多種方式提高良品率，但是在半導體制造工藝的一個有時被忽視的領域中存在巨大的潛力：將反應性鹵素氣體從存儲區輸送到沉積室的關鍵流體系統和組件。隨著對工藝條件的要求越來越苛刻，反應性氣體變得越來越輕和更具腐蝕性，這些系統必須具備很高水平的性能 - 很大程度上取決于制造它們的材料。
在當今的半導體芯片生產環境中，低等級的不銹鋼材料通常不具備必要的性能水平。以下解釋了使用優質材料制成的流體系統組件如何有助于提高良品率，以及半導體制造商在不銹鋼材料規格時應考慮的事項。