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| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 質量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 5千-1萬 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 化工,生物產業,石油,能源,航空航天 |
DS300壓力式氣體質量流量控制器是針對半導體行業開發的一款適用于半導體裝備的氣體質量流量控制器，用于半導體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術和高精度壓電閥控制技術使產品具有零漂小，精度高，響應速度快，壓力不敏感的特點，產品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬，金屬表面狀況符合SEMI標準的要求。
產品簡介
詳細介紹
七星華創DS系列質量流量控制器
DS300壓力式氣體質量流量控制器是針對半導體行業開發的一款適用于半導體裝備的氣體質量流量控制器，用于半導體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的流量傳感器技術和高精度壓電閥控制技術使產品具有零漂小，精度高，響應速度快，壓力不敏感的特點，產品所有與氣體接觸的表面均為不銹鋼金屬，金屬表面狀況符合SEMI標準的要求。
七星華創DS系列質量流量控制器優勢
• 控制精度高，精度可達±1.0% S.P.(≥10%F.S.)。
• 響應速度快，響應時間≤ 0.5sec。
• 采用基于壓力原理的流量傳感器技術，使產品具有壓力不敏感特性，能夠適用較大的氣源壓力波動。
• DS300采用有效的機械加工技術與表面處理技術解決深小孔不能或者很難電拋光(EP)的難題，實現孔徑相對較小(孔徑<1mm)、深徑比相對較大(>10)的不銹鋼小孔、深盲孔以及交叉孔的表面電化學拋光處理，*符合SEMI標準要求。
質量流量控制器的電磁閥是調節閥, 不是截止閥, 不能當截止閥使用, 用戶應另配截 止閥。特別是用戶如果使用腐蝕性氣體, 通常應該在質量流量控制器進出氣口各加一個截 止閥, 以保證工作安全。長期工作后, 如果控制器閥口的漏氣率在 2%F.S.以內, 是屬于正常 情況。如果漏氣大于滿量程的 2%, 則應進行維修。