特點和優勢

TM D9650 C-SAM®

超聲波顯微鏡的現代標準

® 精準的C-SAM 檢測并具有最大的靈活性

D9650是現代超聲波顯微鏡(AM)的標準，和上一代產品一樣提供了較好的精度和穩健性，增加了一個合并

TM 了PolyGate 技術和Sonolytics 的改進型的電子與軟件平臺。D9650適用于故障分析、工藝開發、材料特

性描述及低容量生產環境。

TM

Sonoscan的定量B-Scan分析模式(Q-BAM)為PEM提供

了虛擬橫截面視圖，并且能保留并顯示圖像數據的幅值及極性

TM 帶有Multi-Gate 及Probing-Gate 功能的PolyGate 技術

可以進行單一及多層自動聚焦成像

每頻道多達100個Gates

TM Windows 10 Sonolytics 2 界面，64字節處理能力

線性馬達掃描儀可掃描JEDEC托盤

帶有塔式安裝掃描參考平臺及樣品定位架，更加精準

方便使用掃描區域使安裝、拆卸更加方便，可以掃描JEDEC

托盤或300mm晶圓片

定量的B-Scan是Sonoscan分析模式(Q-BAM)

B-Scan模式提供了虛擬橫截面視圖，并帶有準確的極性、幅值和深度數據

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