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低維材料CVD系統
維數比三小的叫低維材料，具體來說是二維、 一維和零維材料。
二維材料，包括兩種材料的界面，或附著在基片上的薄膜．界面的深或膜層的厚度在納米量級。半導體量子阱屬二維材料。
一維材料，或稱量子線，線的粗細為納米量級．
零維材料，或稱量子點，它由少數原子或分子堆積而成，微粒的大小為納米量級．半導體和金屬的原子簇 (cluster)是典型的零維材料．
由于這些材料晶體結構的特異性，故而造成許多低維度材料展現非常奇特的物理現象。例如，這些材料中的電子被限制在一維的線性鏈或二維的平面上做傳輸，因而他們的導電性會在某一(或二)晶格方向特別好，而在其他方向導電性明顯較差。我們平時常見的銅線或金泊，是不是他們的導電性就只會在銅線線的方向或金泊平面的方向較好呢?答案是否定的。因為在微小電子的世界，銅線或金泊仍然是三維的，電子的傳輸方向仍然是遵循古典的統計法則而四面八方都有可能。
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