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Quattro SEM為具有環境真空功能的極靈活、多功能高分辨率掃描電鏡，可以將成像和分析全面性能與環境模式（ESEM）相結合，使得樣品研究得以在自然狀態下進行。
Quattro SEM高分辨率掃描電鏡參數：
發射源：高穩定型肖特基場發射電子槍
分辨率：
| 型號 | Quattro C | Quattro S |
| 高真空 | ||
| 30kV（SE） | 1.0nm | |
| 1kV（SE） | 3.0nm | |
| 低真空 | ||
| 30kV（SE） | 1.3nm | |
| 3kV（SE） | 3.0nm | |
| 30kV（BSE） | 2.5nm | |
| 環境掃描模式 | ||
| 30kV（SE） | 1.3nm | |
放大倍率：6 ~ 2,500,000×
加速電壓范圍：200V ~ 30kV
探針電流范圍：1pA – 200nA，連續可調
X-Ray工作距離：10mm，EDS檢出角35°
樣品室：從左至右為340mm寬的大存儲空間，樣品室可拓展接口數量12個，含能譜儀接口3個（其中2個處于180°對角位置）
樣品臺和樣品：
探測器系統：
同步檢測多達四種信號，包括
樣品室高真空二次電子探測器ETD
低真空二次電子探測器LVD
氣體SED（GSED，用于環境掃描模式）
樣品室內IR-CCD紅外相機（觀察樣品臺高度）
可用于樣品導航的彩色光學相機Nav-Cam™
控制系統：
操作系統：64為GUI（Windows10）、鍵盤、光學鼠標
圖像顯示：24寸LCD顯示器，WUXGA 1920×1200
定制化的圖像用戶界面，可同時激活多達4個視圖
導航蒙太奇
軟件支持Undo和Redo功能
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