Matesy傳感器

技術文章：

Matesy傳感圖層屬性

濺射氣體的分壓或磁場可影響氣體成分的變化，氣體成分的變化不影響層的厚度，而且影響層的成分。因此，對于層厚度的校正，對磁場的控制和調節(jié)提出了質疑！

Matesy傳感m-cat系統(tǒng)通過表征管狀磁控管，有助于控制濺射系統(tǒng)中的磁性成分。除了對磁場配置進行的測量和分析之外，m-cat系統(tǒng)還為可調磁控管提供了幫助，無論制造商是誰。另外，確定磁控管的幾何形狀（偏轉）以*運行。

Matesy傳感通過使用m-cat，您可以增加

性高，因為可以對新的磁控管進行接收檢查，并且可以早，地檢測出有缺陷的磁控管。

由于可以以可控的方式設置可調磁控管或可以容易地組合合適的磁控管，因此可以實現層厚度的均勻性。

可以避免靶材的壽命，因為可以避免濺射成本高昂的靶材。

Matesy傳感特性

采集完整的磁場輪廓

1分鐘內完成測量

磁控管偏轉的幾何識別

長度從.4-4. m

提供用于圓形陰和平面陰磁控管的系統(tǒng)

對測量任務的適應性

可選地可以在目標中測量

可以記錄可選的目標參數（直徑，偏轉）

該系統(tǒng)可以在現有的制造過程中實施

高可用性

m-cat測量單元

磁參數

磁場配置：33個通道（X，Y，Z）+/- 1

檢測和磁場強度

磁控管偏轉的幾何識別

可修剪磁控管的修整輔助功能

野外歷程的圖形表示

Matesy傳感磁控管的幾何形狀（磁性功能部件的位置）：+/- .1 mm

目標的幾何形狀（直徑，偏轉）：+/- .1毫米

可以記錄可選的目標參數（直徑，偏轉）

具有生命周期管理，視圖和設置選項的軟件

具有CSV格式的單個測量系列的HSE和導出功能

Matesy傳感器