聊聊威海微電子凈化工程的幾個特點

微電子技術，在20世紀60年代，隨著電子電路和系統向超小型化及微型化方向發展而逐漸形成和發展起來的，它是建立在以集成電路為核心的各種半導體器件基礎的電子技術。凈化工程的存在使得高性能計算機個人計算機、通信網絡、便攜式終端、信息家電等普及化，使得信息化社會得到迅速的發展。

對小微粒直徑提出了更高的要求，一方面因為集成電路上某種幾何距離更小了，某一涂層或掩膜的厚度只有十分之幾甚至百分之幾微米，元件與元件之間的金屬聯線的寬度，例如超大規模集成電路已達到1µm。另一方面，因為不僅需要從機械的角度，更需要從物理和化學的角度來確定小粒徑。一顆塵粒即使是在某個幾何距離之內，也可能形成針孔和雜質源而破壞產品的性能。所以小微粒直徑進一步要求控制在基本圖形尺寸的1/3~1/10之間，下限更低。

20世紀90年代以來，超大規模集成電路的加工技術發展迅猛，每隔2年其關鍵技術就會有一次飛躍，集成度每3年翻4倍。集成電路將不斷隨集成度的加大而縮小其特征尺寸，增加掩膜的層數和容量，動態隨機存取存儲器的特征尺寸為0.09µm的生產，對潔凈室設計中控制粒子的粒徑也將日益縮小，目前研究和生產實踐表明，對于超大規模集成電路生產環境的化學污染控制的要求也十分的嚴格。

對于微電子凈化車間來說，由于潔凈區布置在建筑物的部位，室內負荷的主要部分是工藝設備負荷，因此區內只存在冷負荷，在正常運行狀態下，潔凈區長期供冷。

當工藝設備啟動時，室內沒有設備負荷，在特定的氣候條件下，有可能啟動時出現供熱狀態，然后逐步轉換到正常運行的供冷狀態。需要對凈化車間的通風空調系統設置兩套可以轉換的工作模式，即“啟動狀態"和“運行狀態"。

聊聊威海微電子凈化工程的幾個特點，我們在做凈化工程方面的結構施工時，是需要遵守以下幾點要求的：
1.裝配式混凝土結構的潔凈室，應在預制構件上按設計圖紙預留孔，洞。
2.有耐壓，防滲漏要求潔凈室的混凝土施工應按設計要求采用抗滲混凝土，并應制定配合比操作程序，按相關要求先做試塊的抗滲試驗，澆筑后應分層搗實，加強養護管理。
3.潔凈區內的現澆混凝土剪力墻模板不宜采用拼縫較多的組合鋼模板，宜采用大尺寸硬木面層厚型膠合板。
4.對大面積潔凈空間采用的結構模板，應分區設控制點，多級復核。應防止建筑模板受潮起拱。宜采用清水混凝土精細施工，應隨搗隨抹光，一次性達到建筑設計標高。模板的密封膠填縫與固定應同時進行，不得遺漏。
5.砌體施工質量控制等級應滿足現行標準《砌體工程施工質量驗收規范》GB50203第3.0.10條的*要求。
6.對分割潔凈室相關受控環境的空間成為各自獨立密封體到頂的填充墻，墻體與梁,板底的縫隙應填充密實，并應作密封處理。
7.高大潔凈空間內的鋼結構施工應嚴格控制構件的尺寸偏差，對設計不要求留縫的節點，應在鋼結構主體驗收合格后用密封材料堵嚴。鋼結構表面的防腐，防火涂料不得漏涂。
8.既有建筑改造為潔凈室時，應對原有建筑進行結構驗算。并應仔細檢查原有結構，對原結構中出現的裂縫或縫隙應采取措施進行加固密封。

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