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詳細(xì)介紹
Sekidenko OR400T 外延片測(cè)溫儀主要特點(diǎn)
采用光纖鏡頭或光導(dǎo)管的實(shí)時(shí)非接觸紅外測(cè)量
完整的I / O和外部觸發(fā)/同步套件
結(jié)構(gòu)緊湊，易于集成的單通道光纖高溫計(jì)
提升了低溫測(cè)試性能
詳細(xì)說明
傳統(tǒng)的熱電偶測(cè)量會(huì)因傳熱效應(yīng)而導(dǎo)致溫場(chǎng)破壞，進(jìn)而產(chǎn)生測(cè)溫誤差。OR400T 光纖溫度計(jì)可在不接觸晶圓的情況下直接測(cè)量晶圓溫度，提高晶圓之間的均勻性并提高溫度讀數(shù)的準(zhǔn)確性
OR400T光纖溫度計(jì)（OFT）提供單通道溫度測(cè)量功能，支持RS-232和模擬數(shù)據(jù)接口，每秒高達(dá)20個(gè)讀數(shù)。適用于多種大批量半導(dǎo)體生產(chǎn)應(yīng)用，包括LPCVD，PVD，和金屬蝕刻等。
每個(gè)OFT系統(tǒng)均由控制器，光學(xué)傳感器和光纖組成。使用光纜可以使控制器遠(yuǎn)離RF和其他EMI源進(jìn)行遠(yuǎn)程定位。傳感器檢測(cè)目標(biāo)（通常是基板）輻射的近紅外（NIR）光線，然后通過光纜將近紅外輻射傳輸?shù)娇刂破鳎刂破鲗⑹占降墓廪D(zhuǎn)換為溫度讀數(shù)。
典型應(yīng)用
Epi
PECVD
LPCVD
PVD
MOCVD
技術(shù)參數(shù)
| 通用參數(shù) | |
配置 | 單通道溫度測(cè)量 |
溫度范圍 | 50 至 3500°C |
| 波長(zhǎng) | 600 至 1600 nm |
| 讀取速率 | 高達(dá) 20 Hz |
| 測(cè)溫精度 | ±1.5°C |
控制/重復(fù)精度 | ±0.1°C |
| 分辨率 | 0.01°C |
| 接口 | |
| 屏幕顯示 | 無，可通過RS232設(shè)置 |
| 數(shù)據(jù) I/O | 高達(dá)115 kB的 RS-232 輸出 |
| 模擬輸出 | 0 至 10 V 或 4 - 20 mA |
| 電參數(shù) | |
輸入電壓 | AC: 90 to 263 VAC, 47 to 63 Hz DC: +24 VDC |
| 環(huán)境參數(shù) | |
| 使用環(huán)境 | 15 to 40°C (64 to 104°F), 非凝露 |
| 物理特性 | |
| 物理尺寸 | 55.7 mm (H) x 31.8 mm (W) x 195.2 mm (D) 2.2" (H) x 1.3" (W) x 7.7" (D) |
| 重量 | 0.73 kg (0.33 lb) |
| 安裝 | M3 X 0.5螺紋孔（有關(guān)更多信息，請(qǐng)參閱手冊(cè)） |
| 電源線電流 | 100 VAC時(shí),小于0.7A |
Sekidenko OR400T 外延片測(cè)溫儀
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