目前器械廣泛采用環氧乙烷來滅菌的。.環氧乙烷是易燃易爆的有毒氣體，分子式為C2H4O，具有芳香的醚味，在4°C時候相對密度為0.884，沸點為10.8°C,其密度為1.52g/cm3，在室溫條件下，很容易揮發成氣體，當濃度過高時可引起爆炸。

優點是：l 能殺滅所有微生物，包括細菌芽孢。 2 滅菌物品可以被包裹、整體封裝，可保持使用前呈無菌狀態。 3 相對而言，EO不腐蝕塑料、金屬和橡膠,不會使物品發生變黃變脆。 4 能穿透形態不規則物品并滅菌。5 可用于那些不能用消毒劑浸泡，干熱、壓力、蒸汽及其他化學氣體滅菌之物品的滅菌。