日本EHC VD-400減壓室

一個減壓的干燥系統，帶有觸摸面板控制的配方操作。

VD-400是一個減壓室，用于在抗蝕劑應用后對玻璃基材進行涂層。

該設備用于減壓干燥。

VD-400減壓室特點。

通過觸摸面板控制簡化操作。

可進行配方操作（允許復制操作程序）。

兩級排風減少了風的波紋和氣泡。

蝶形閥的使用使真空排氣量得以設定。

日本EHC VD-400減壓室

主要規格。

外部尺寸400毫米×400毫米，高度103毫米（蓋子關閉時）。

　　　　　　　 內部尺寸350毫米x350毫米，高度30毫米

○ 真空：可實現的真空度約為1Pa或更低（無負載時）。

規格。

0室：外部尺寸400mm x 400mm，高度103mm（蓋子關閉時）。

　　　　　 內部尺寸350毫米x350毫米，高度30毫米

0 真空系統：可實現的真空度：1帕或更低（不含樣品）

　　　　 干式泵250升/分鐘

達到設定壓力時，自動釋放到大氣中。

　　　　　 時間模式 在設定的減壓時間后自動釋放大氣。

0 實用：3Φ AC200：干燥空氣 0.4-0.6 MPa：真空抽氣

z 外部尺寸：（寬）1000 x（長）800 mm x（高）1600 mm

0 設備重量：約250公斤