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ECL800線性ECR寬波束離子源

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更新時(shí)間:2023-07-11 09:55:40瀏覽次數(shù):1183

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產(chǎn)品簡介

供貨周期 一個(gè)月以上
適用全惰性氣體、氧氣等不同氣體

詳細(xì)介紹

線性ECR寬波束離子源

模塊化EC/L XXX離子源

ecl800_jpg.jpg

關(guān)鍵的設(shè)計(jì)特性

基于簡單、緊湊的微波耦合的無燈絲源

永磁體使用電子回旋共振(ECR)

法蘭安裝配置

功能陶瓷維護(hù)方便快捷

特殊的電網(wǎng)絕緣調(diào)節(jié)系統(tǒng)

優(yōu)勢

適用全惰性氣體、氧氣等活性氣體

柵網(wǎng)系統(tǒng)有不同的形狀和材料

長達(dá)2米的工作模塊

少的維護(hù)和超長壽命,維修周期超過300h

均勻離子流超過總長度的百分之八十

尺寸/型號(hào)

網(wǎng)頁版ecl800.jpg

技術(shù)規(guī)范

參數(shù)

EC/L800

類型

法蘭安裝射頻激勵(lì)離子源

多孔徑提取柵網(wǎng)

源材料

放電管:Al2O3

柵網(wǎng):C

微波天線的真空分離:二氧化硅杯

永磁體:NdFeB

外殼:不銹鋼

磁屏蔽:鍍鎳鋼

柵網(wǎng)類型

2柵網(wǎng)或3柵網(wǎng)系統(tǒng)

2種不同焦距的標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)

型號(hào)

深度:標(biāo)準(zhǔn)104.5 mm

235 mm x 875 mm(無法蘭)

重量

80kg

法蘭

O形密封圈的非標(biāo)準(zhǔn)矩形法蘭

340 mm x 975 mm

微波電源

每個(gè)模塊在2.45 GHz時(shí)約125-400 W

離子電流

1000 V1.2 kW)時(shí)1200mA

離子

100 1000 eV

加速電壓

0 –1000 V

過程氣體

惰性氣體,N2(無限制)

O2和含鹵素氣體(柵極壽命縮短)

氣流流量

40sccm6 mm軟管的插入式接頭

冷卻水

1.5 l/min

電連接

6 mm Swagelock



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