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產(chǎn)品簡介
詳細介紹
鄭科探微型真空探針臺標準復合分子泵機組是一臺清潔的高真空獲得設備。此設備是根據(jù)真空知識原理，利用機械泵、渦輪分子泵組合成的真空獲得系統(tǒng)，具有啟動時間快、真空度高、操作方便等特點。廣泛應用于表面分析、加速器技術、等離子體技術、電真空器件制造及真空的各個領域。設備的具體組成主要包括真空測量系統(tǒng)、真空室、閥門及真空管路、電器控制系統(tǒng)等
鄭科探微型真空探針臺技術參數(shù)：
控制方式 | 手動人機界面控制 |
前級泵接口 | KF25（客戶根據(jù)真空環(huán)境潔凈度要求自行安裝前級泵） |
分子泵 | FF-100/150 51000轉/分 |
分子泵抽氣速率 | 140L/S |
分子泵啟動時間 | ≤2min |
空載極限壓強 | ≤1X10-4Pa |
真空測量方式 | 冷陰極標準規(guī)管 |
真空測量范圍 | 1E﹢2到1E-5 Pa |
真空測量精度 | 1E-4到1E-5 Pa ±40%的讀數(shù) 1E﹢2到1E-4 Pa ±20%的讀數(shù) 重復性： ±5% |
抽氣接口 | KF25 |
閥門類型 | KF25手動擋板閥 |
系統(tǒng)電源 | AC220V |
系統(tǒng)功率 | ≤750W |
環(huán)境溫度 | 5~32℃ |
冷卻方式 | 強制風冷卻 |
濕度 | ≤80%RH |
外形尺寸 | 250 X360 X 300mm （寬-深-高） |
重量 | 25KG |
隨機配件：KF25高真空擋板閥X1個 KF25卡箍X3個 kf25-1米不銹鋼波紋管x1根 說明書X1本 電源線x1根 冷陰極真空計X1個 | |