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詳細介紹
各種不同的樣品，從單晶硅到多晶硅，從生長的晶片到加工過的晶片，都可以通過MDPlinescan使用少子壽命測量進行檢測。硬件系統(tǒng)被靈活地安裝來執(zhí)行樣本的逐行掃描。該軟件接口便于與處理系統(tǒng)或自動化系統(tǒng)進行簡單的連接和通信。
MDPlinescan被設(shè)計成一個易于集成的OEM單元，用于集成到各種自動化檢測上。關(guān)鍵測量是少子壽命掃描。樣品通常由測量探頭下面的傳送帶或機器人系統(tǒng)傳送。應(yīng)用實例范圍從磚塊到晶片檢查，測量速度小于每晶片一秒。電池生產(chǎn)線的進料質(zhì)量調(diào)查是常見的應(yīng)用案例，以及在鈍化和擴散之后的工藝質(zhì)量檢查，在許多其他的專業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域也有很大的可能性。只需要集成以太網(wǎng)連接和電源就可以了。包括附加電阻率測量選項。
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