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產品概述：
VTC-100PA真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。
主要特點：
參數：
進氣口：上蓋有一個直徑6mm的進氣口可將需要的氣體通入腔體，實現在氣氛環境下旋轉涂覆
可選加熱部分：上蓋內部增加紅外燈管加熱，采用K型熱偶測溫，數字溫控器控溫，*高120℃，可使得樣品涂覆后原位烘干，用于薄膜太陽能電池等研究。
產品規格：
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