真空計（Vacuum Gauge），又名真空表，是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。、

真空計（Vacuum Gauge），又名真空表，是測量真空度或氣壓的儀器。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用。

利用力學(xué)性能的真空計典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī)；利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī)；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。

波爾登規(guī)

這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。

薄膜電容規(guī)

這種規(guī)的優(yōu)點是靈敏度很高。缺點是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對膜片力學(xué)性能的影響，使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時。

皮拉尼電阻規(guī)

由于不同氣體在相同氣壓時導(dǎo)熱性不同，所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。

熱電偶

與皮拉尼電阻規(guī)一樣，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。

熱陰極電離規(guī)

由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規(guī)在使用時也需要在不同氣體下進(jìn)行標(biāo)定。

冷陰極電離規(guī)