質譜附件-濕度發生器濕度發生器通過對潮濕與干燥氣流進行定量混合，可以為測試提供具有確定的相對濕度的吹掃氣氛。其可控的小濕度為約 30°C 下的 5% 相對濕度（0.2% 濕度），大濕度為 70°C 下的 90%相對濕度（30%濕度）。

質譜附件-濕度發生器濕度發生器通過對潮濕與干燥氣流進行定量混合，可以為測試提供具有確定的相對濕度的吹掃氣氛。其可控的小濕度為約 30°C 下的 5% 相對濕度（0.2% 濕度），大濕度為 70°C 下的 90%相對濕度（30%濕度）。

若水汽濃度 ≥ 2% 濕度（相當于 15°C下的 100% 相對濕度），需要配合使用水蒸氣爐。對于 ≤ 2% 的較低濕度，可以使用任何類型的爐體，但必須避免冷凝。潮濕氣氛濃度由軟件控制，其步階可編程。系統可以方便地在測試運行過程中進行重新充填。