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                                                                                             規格

 手動微機械手：8 個

 軸：4（XYZ 和傾斜）

 X 行程：10 毫米，Y 行程：10 毫米，Z 行程：10 毫米

 傾斜：+/- 3 度

 磁性運動 - 類似磁性底座

 探頭固定裝置

 2. 底板，機械手 SS 磁性底板，可調節支撐架 3.

 3. XYZ 手動樣品支架，帶 4" SS 卡盤 = 1 套

 X 行程：25 毫米，Y 行程：10 毫米，Z 行程：10 毫米

 4. 探針臺雙目顯微鏡，帶 Boomstand 和 Z 聚焦臺=1 套

 光學系統：無限校正

 觀察方法：明視場

 照明 ： 反射式（同軸和成角度）

 照明系統：高亮度白色 LED

 鼻托：旋轉式，四重，帶正向精確單擊停止裝置

 觀察頭：Siedentopf 三目觀察頭，30 度，48-75 毫米 IP 調整

 目鏡：10 倍寬視場目鏡，FN = 20 毫米，光圈可調。

 調焦：手動 Z 平臺

 物鏡：LWD Plan Apo 5 倍（NA = 0.14，WD = 34mm，視場角目鏡 = 4mm，視場角相機 = 1.14mm x 0.856mm，對角線 1.426）

                                                                                               項目包括

 1. 帶 8 個微型機械手的探針站

 2. 底板、機械手 磁性 SS 底板、可調支撐架

 3. XYZ 手動樣品支架，帶 4" SS 卡盤

 4. 探針臺雙目顯微鏡，帶 BOOM 支架和 Z 聚焦臺

                                                                                                 相機規格

光學格式：1/2.5 英寸 CMOS

有源成像器尺寸：5.70 毫米 x 4.28 毫米，對角線 7.13 毫米

有效像素：2592 x 1944（500 萬像素）

像素尺寸：2.2 x 2.2 um

彩色濾光片陣列：RGB Bayer 模式

快門類型 ： 電子滾動快門（ERS）

幀頻 ： 全分辨率 - 高達 8 幀/秒，VGA - 高達 70 幀/秒

ADC 分辨率：12 位，片載

像素動態范圍：70.1 dB

工作溫度：-30°C 至 +70°C

功耗：全分辨率 15 fps 時為 381mW

接口：USB2.0