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透射電子顯微鏡樣品桿預抽存儲系統,透射電子顯微鏡樣品桿預抽存儲系統(T-staion)由內置進口分子泵組、樣品桿預抽室及觸摸顯示屏組成。適用于各品牌透射電鏡樣品桿,保證樣品桿*處于高真空狀態,減少進樣預抽時間??缮壍入x子清洗功能,實現對樣品桿或MEMS芯片的清洗。
透射電子顯微鏡樣品桿預抽存儲系統
性能指標
兼容各廠家樣品桿
分子泵組:ISO/CF63 84L/sec
極限真空:5 X10-5 Pa
插桿位:4個桿位,可獨立放氣。
觸摸屏:實施顯示預抽室真空度,一鍵開關。
可升級等離子清洗功能(需提前預留接口)
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